三氯氫硅在線(xiàn)色譜分析儀三氯氫硅作為制造多晶硅的主要原料，其中二氯二氫硅的含量對優(yōu)化工藝十分重要，目前一般都是取樣到實(shí)驗室進(jìn)行分析。實(shí)際中由于三氯氫硅的化學(xué)和物理特性，使本樣品取樣分析非常危險和困難，且取樣到實(shí)驗室分析對在線(xiàn)生產(chǎn)的指導時(shí)間滯后性太大。我們通過(guò)現場(chǎng)實(shí)地考察，并與現場(chǎng)各位應用專(zhuān)家進(jìn)行深入交流，設計可應用于三氯氫硅在線(xiàn)分析的在線(xiàn)色譜。可以做到實(shí)時(shí)分析現場(chǎng)管道內樣品組分的變化，從而根據變化情況進(jìn)行優(yōu)化。

使用本設備可以每10分鐘分析一組現場(chǎng)管道內三氯氫硅中二氯二氫硅的變化情況，通過(guò)4-20ma將二氯二氫硅的含量數據傳送給DCS系統，以便現場(chǎng)工藝專(zhuān)家可以對多晶硅的生產(chǎn)工藝進(jìn)行優(yōu)化。

　　三氯氫硅在線(xiàn)色譜分析儀是我們自主研發(fā)的在線(xiàn)分析儀器，隔爆型設計，無(wú)需大量?jì)x表風(fēng)吹掃，模塊化設計，保證高可靠性，客戶(hù)定制方案開(kāi)發(fā)，安裝調試測試為一體的交鑰匙工程服務(wù)體系